成膜や薄膜、蒸着、スパッタのＦＡＱ
成膜や薄膜、蒸着、スパッタ等に関するＱ&Ａ集をまとめてみました。加工技術の一つである「成膜」。このページでは薄膜を製造するための様々な手法の特徴や基礎的な事柄をその周辺知識も含めて少しずつまとめていきます。
成膜に関するＱ&Ａ
- 真空蒸着材料とは
- 蒸着を行う意味はどこに
- 蒸着を英語で言うと
- 蒸着とスパッタの違い
- 蒸着での膜厚の範囲はどれくらいですか
- 蒸着により色をつける技術があると聞きました。
- 蒸着で言うイオンアシストとは何ですか
- 成膜装置の種類
- 真空度の換算
- 真空度の単位
- 成膜と製膜
- ITO成膜の手法にはどのようなものがありますか。
- DLCの成膜方法
- 化学蒸着とは
- 透明導電膜とは
- 透明導電膜の用途
- 蒸着フィルムとは
- ITOフィルムとは
- 薄膜の内部応力とは
- in situとは
- シフトレス薄膜とは
- 薄膜とバルクの特性に違いはあるか
- 光学特性のnやkを調べる
- 光学ガラスの屈折率一覧
- IADとは
- 酸化物の融点の一覧
- フッ化物の融点の一覧
- 屈折率の一覧
- 蒸着材料のスプラッシュとは
- 薄膜のブツやボツとは何ですか
- 蒸着材料のアウトガス（出ガス）とは
- 蒸着材料には焼結品と溶融破砕品がある
- 蒸着材料のタイプ別の特徴
- 真空ポンプの種類と真空度の関係
- あらびきポンプとは
- 油回転ポンプ
- ドライポンプ
- 高真空ポンプとは
- 拡散ポンプ
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- スパッタイオンポンプ
- 真空計の種類
- 真空計｜メーカーの一覧
- BK7とは
- pvd処理とは
- モニターガラスとは
- メガネのコーティングの種類
- 眼鏡のコーティングが剥がれたら
- クリーンルームのクラスの基準と規格
- クリーンルームのクラス1の基準
- クリーンルームのクラス10の基準
- クリーンルームのクラス100の基準
- クリーンルームのクラス1000の基準
- クリーンルームのクラス10000の基準
- 成膜レートとは
- 赤外線(IR)の波長
- 可視光波長領域とは
- 紫外線(UV)の波長
- 窓用の断熱フィルムや遮熱フィルムはどの程度の効果があるか
薄膜の特性【参考】
主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。
酸化物の薄膜
- Al2O3（酸化アルミニウム、アルミナ）
- CeO2（酸化セリウム）
- Cr2O3（酸化クロム）
- Ga2O3（酸化ガリウム）
- HfO2（酸化ハフニウム、ハフニア）
- NiO（酸化ニッケル）
- MgO（酸化マグネシウム、マグネシア）
- I.T.O（Ｉｎ２Ｏ３＋ＳｎＯ２）酸化インジウムスズ
- Nb2O5（五酸化ニオブ）
- Ta2O5（五酸化タンタル）
- Y2O3（酸化イットリウム、イットリア）
- WO3（酸化タングステン）
- TiO（一酸化チタン）
- Ti3O5（五酸化チタン）
- TiO2（二酸化チタン、チタニア）
- ZnO（酸化亜鉛）
- ZrO2+TiO2（複合酸化物）
- ZrO2（酸化ジルコニウム、ジルコニア）
フッ化物の薄膜
- AlF3（フッ化アルミニウム）
- CaF2（フッ化カルシウム）
- CeF3（フッ化セリウム）
- LaF3（フッ化ランタン）
- LiF（フッ化リチウム）
- NaF（フッ化ナトリウム）
- MgF2（フッ化マグネシウム）
- NdF3（フッ化ネオジウム）
- SmF3（フッ化サマリウム）
- YbF3（フッ化イッテルビウム）
- YF3（フッ化イットリウム）
- GdF3（フッ化ガドリニウム）
窒化膜
炭化膜
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- 真空蒸着の原理
- スパッタとは
- 受託成膜や成膜サービスを行っている企業の一覧
- 「めっき」を行っている企業の一覧
- 「溶射」を行っている企業の一覧
- 蒸着材料のメーカー一覧
- スパッタリングターゲットのメーカー一覧
- CVD材料のメーカー一覧
