Ga2O3(酸化ガリウム)の特性

2011年5月8日更新

Ga2O3は波長550nm付近で1.45の屈折率を持つ材料で、バンドギャップは5eV以下とされます。化学的・熱的に安定した物質で、薄膜としては深紫外域で用いられる酸化物やGaAsへの反射防止膜、高温酸素センサー、発光体などに使われます。

膜特性(Ga2O3 酸化ガリウム)
屈折率 1.45(550nm近辺) ※2
使用波長域 0.3μm〜
蒸発方法 EB(電子ビーム)、RH(抵抗加熱)
蒸発源材料 タングステン
蒸発タイプ -
膜質 -
応力 -
主な用途 -
Ga2O3の材料特性(一般的なバルクの物性値)
理論密度 5.95g/cm3
融点 1900℃
沸点 -
性質 水溶性:不溶
耐薬品性(酸、アルカリ):不溶
結晶構造 Ga2O3(α)三方晶系、600℃(転移→単斜晶系β) ※1
抵抗率ρ/10^-8Ωm -
誘電率、比誘電率εγ -
熱膨張係数 -
熱伝導率(cal/cm/sec/℃) -
比熱(cal/℃/mole) -
備考 5形態あるが、安定して存在できるのはβ-Ga2O3のみ。※2
外観 -
CAS-NO 12024-21-4
輸送情報 輸出貿易管理令(リスト規制非該当)

参照文献

  • ※1:[日本化学会編,“化学便覧 基礎編 改訂5版”,丸善(2005),p.T-222]
  • ※2:Reprinted from "Handbook of optical constants of solids"edited by Edward D.Palik Academic press page.753-760 1985 with permission from Elsevier

専門誌等で発表されているGa2O3の薄膜に関する研究論文

掲載誌 Jpn.J.Appl.Phys.13, 737 and 1578 1974
タイトル -
著者 T.Matsumoto
概要 -

スポンサーリンク

>「Ga2O3(酸化ガリウム、Gallium Oxide)の特性」についての先頭へ

Ga2O3(酸化ガリウム、Gallium Oxide)の関連記事

Ga2O3(酸化ガリウム)のメーカー一覧
受託成膜や成膜サービスを行っている企業の一覧
蒸着材料のメーカー一覧
スパッタリングターゲットのメーカー一覧
CVD材料のメーカー一覧
溶射材料のメーカー一覧

薄膜の材料特性

酸化物の薄膜

フッ化物の薄膜

窒化膜

炭化膜

このサイトについて

当サイトの記事はすべて工業製品のメーカーの実務経験者が執筆しています。

砥石メーカーの製品や技術を紹介するサイトとしてはじまりましたが、加工技術・工具・研削・研磨に関わる情報から派生し、ユーザーの問い合わせに応じて鉄鋼、非鉄、貴金属、セラミックス、プラスチック、ゴム、繊維、木材、石材等製造に使用する材料・ワークの基礎知識についても掲載するようになりました。その後、技術情報に限らず、製造業で各分野の職種・仕事を進めるうえで役立つノウハウも提供しています。

製造、生産技術、設備技術、金型技術、試作、実験、製品開発、設計、環境管理、安全、品質管理、営業、貿易、経理、購買調達、資材、生産管理、在庫管理、物流など製造業に関わりのあるさまざまな仕事や調べものの一助になれば幸いです。

工業情報リンク集

工業分野のメーカーや商社を中心に、技術、規格、ものづくりに広く関わりのあるリンクを集めています。工業製品の生産に必要とされる加工技術や材料に関する知識、マーケティングから製品企画、開発、販売戦略、輸出入、物流、コスト低減、原価管理等、事業運営に必要な知識には共通項があります。

研磨、研削、砥石リンク集