高真空ポンプ

2012年5月1日更新

拡散ポンプ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプ、スパッタイオンポンプなどがあります。成膜、特に蒸着には必須の真空ポンプで、あらびき工程が終わってある程度、真空度が高くなってから仕上げに導入するポンプです。これらに分類されるポンプは大気圧などの環境下では使うことができませんので、必ずあらびき工程に相当する真空ポンプと組み合わせて使われます。

成膜の場合、これらは実際の成膜工程中にも作動し続け、真空度を維持しようとつとめます。より直接的に薄膜の品質に影響するといわれるポンプです。予算や成膜装置の種類、製作しようとしている薄膜のレベルや特性に応じて最適なものを選んでいく必要があります。

スポンサーリンク

>「高真空ポンプ」の先頭へ

「成膜や薄膜、蒸着、スパッタのFAQ」の目次へ戻る

高真空ポンプの関連記事

あらびきポンプとは
ルーツポンプ
油回転ポンプ
ドライポンプ
高真空ポンプ
拡散ポンプ
クライオポンプ
ターボ分子ポンプ
スパッタイオンポンプ
真空計の種類
真空計|メーカーの一覧

砥石からはじまり、工業技術や工具、材料等の情報を掲載しています。製造、生産技術、設備技術、金型技術、試作、実験、製品開発、設計、環境管理、安全、品質管理、営業、貿易、購買調達、資材、生産管理、物流、経理など製造業に関わりのあるさまざまな仕事や調べものの一助になれば幸いです。

このサイトについて

研削・研磨に関わる情報から、被削材となる鉄鋼やセラミックス、樹脂に至るまで主として製造業における各分野の職種で必要とされる情報を集め、提供しています。「専門的でわかりにくい」といわれる砥石や工業の世界。わかりやすく役に立つ情報掲載を心がけています。砥石選びや研削研磨でお困りのときに役立てていただければ幸いですが、工業系の分野で「こんな情報がほしい」などのリクエストがありましたら検討致しますのでご連絡ください。toishi.info@管理人

ダイヤモンド砥石のリンク集

研磨や研削だけでなく、製造業やものづくりに広く関わりのあるリンクを集めています。工業分野で必要とされる加工技術や材料に関する知識、事業運営に必要な知識には驚くほど共通項があります。研削・切削液、研削盤、砥石メーカー各社のサイトから工業分野や消費財ごとのメーカーをリンクしてまとめています。

研磨、研削、砥石リンク集