拡散ポンプ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプ、スパッタイオンポンプなどがあります。成膜、特に蒸着には必須の真空ポンプで、あらびき工程が終わってある程度、真空度が高くなってから仕上げに導入するポンプです。これらに分類されるポンプは大気圧などの環境下では使うことができませんので、必ずあらびき工程に相当する真空ポンプと組み合わせて使われます。
成膜の場合、これらは実際の成膜工程中にも作動し続け、真空度を維持しようとつとめます。より直接的に薄膜の品質に影響するといわれるポンプです。予算や成膜装置の種類、製作しようとしている薄膜のレベルや特性に応じて最適なものを選んでいく必要があります。
スポンサーリンク
当サイトの記事はすべて工業製品のメーカーの実務経験者が執筆しています。
砥石メーカーの製品や技術を紹介するサイトとしてはじまりましたが、加工技術・工具・研削・研磨に関わる情報から派生し、ユーザーの問い合わせに応じて鉄鋼、非鉄、貴金属、セラミックス、プラスチック、ゴム、繊維、木材、石材等製造に使用する材料・ワークの基礎知識についても掲載するようになりました。その後、技術情報に限らず、製造業で各分野の職種・仕事を進めるうえで役立つノウハウも提供しています。
製造、生産技術、設備技術、金型技術、試作、実験、製品開発、設計、環境管理、安全、品質管理、営業、貿易、経理、購買調達、資材、生産管理、在庫管理、物流など製造業に関わりのあるさまざまな仕事や調べものの一助になれば幸いです。
工業分野のメーカーや商社を中心に、技術、規格、ものづくりに広く関わりのあるリンクを集めています。工業製品の生産に必要とされる加工技術や材料に関する知識、マーケティングから製品企画、開発、販売戦略、輸出入、物流、コスト低減、原価管理等、事業運営に必要な知識には共通項があります。