紫外線(UV)の波長
光は波長によってその性質が変わってきます。紫外線とは可視光でいえば380nm以下の波長を持つ光で、さらに段階に応じていくつかに分類されています。380nmから200nm前後までを近紫外、200nmから10nm前後を遠紫外や真紫外（真空紫外）と呼びます。光学用途ではこれ以上の短波長を扱うのは稀で、真紫外よりも波長が短くなるとエックス線となります。
紫外域の光線が必要とされる分野としては、医療用の殺菌やブラックライト、科学機器、検査機器などです。また半導体製造用のフォトリソグラフィなどにも、より多くの情報量を書き込めるよう線幅をさらに細くする為、近紫外での透過率が必要とされることがあります。
紫外域で一定の透過率を確保するためには、可視光とは異なる薄膜の材料を用いることが多いです。また基板もガラスでは吸収が大きすぎるため、フッ化カルシウムやフッ化マグネシウムなどの光学結晶が使われることもあります。
薄膜の特性【参考】
主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。
酸化物の薄膜
- Al2O3（酸化アルミニウム、アルミナ）
- CeO2（酸化セリウム）
- Cr2O3（酸化クロム）
- Ga2O3（酸化ガリウム）
- HfO2（酸化ハフニウム、ハフニア）
- NiO（酸化ニッケル）
- MgO（酸化マグネシウム、マグネシア）
- I.T.O（Ｉｎ２Ｏ３＋ＳｎＯ２）酸化インジウムスズ
- Nb2O5（五酸化ニオブ）
- Ta2O5（五酸化タンタル）
- Y2O3（酸化イットリウム、イットリア）
- WO3（酸化タングステン）
- TiO（一酸化チタン）
- Ti3O5（五酸化チタン）
- TiO2（二酸化チタン、チタニア）
- ZnO（酸化亜鉛）
- ZrO2+TiO2（複合酸化物）
- ZrO2（酸化ジルコニウム、ジルコニア）
フッ化物の薄膜
- AlF3（フッ化アルミニウム）
- CaF2（フッ化カルシウム）
- CeF3（フッ化セリウム）
- LaF3（フッ化ランタン）
- LiF（フッ化リチウム）
- NaF（フッ化ナトリウム）
- MgF2（フッ化マグネシウム）
- NdF3（フッ化ネオジウム）
- SmF3（フッ化サマリウム）
- YbF3（フッ化イッテルビウム）
- YF3（フッ化イットリウム）
- GdF3（フッ化ガドリニウム）
窒化膜
炭化膜
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