Y2O3（酸化イットリウム）の特性
Y2O3は短波長域のレーザーや赤外域での反射防止膜としても興味深い材料の一つです。比較的高い屈折率を持ち、透過波長域が紫外から赤外にかけて広いことから、中間屈折率材料として膜設計に組み込まれることもあります。
| 屈折率 | 1.87（550 nm近辺） |
|---|---|
| 使用波長域 | 0.3 ～ 12μｍ |
| 蒸発方法 | EB（電子ビーム） |
| 蒸発源材料 | - |
| 蒸発タイプ | - |
| 膜質 | 非晶質（基板加熱により一部結晶質）、硬い |
| 応力 | 圧縮 |
| 主な用途 | 多層膜、絶縁膜 |
| 理論密度 | 5.03g/cm3 |
|---|---|
| 融点 | 2410℃ |
| 沸点 | ～4300℃ ※１ |
| 性質 | 水溶性：不溶 耐薬品性(酸、アルカリ)：酸に可溶、アルカリに不溶 ※１ |
| 結晶構造 | 立方晶系 Sc2O3型 ※２ |
| 抵抗率ρ/10^-8Ωm | |
| 誘電率、比誘電率εγ | |
| 熱膨張係数 | 7.3 x 10^-6 ※３ |
| 熱伝導率（cal/cm/sec/℃） | 3.19 x 10^-2 ※３ |
| 比熱(cal/℃/mole) | 27.09 127T(℃) ※３ |
| 外観 | 白色 |
| CAS-NO | 1314-36-9 |
| 輸送情報 | 輸出貿易管理令（リスト規制非該当） |
参照文献
- ※１：［日本化学会編，“化学便覧 基礎編 改訂5版”，丸善（2005），p.Ⅰ-358］
- ※２：［日本化学会編，“化学便覧 基礎編 改訂5版”，丸善（2005），p.Ⅱ-838］
- ※３：生産現場における光学薄膜の設計・作製・評価技術 監修/小倉繁太郎 技術情報協会 2001年1月22日 第7章第11節『紫外線波長用フィルター』p266-267 小倉繁太郎
専門誌等で発表されているY2O3の薄膜に関する研究論文
| 掲載誌 | APPLIED OPTICS Vol. 36, No. 10 / 1 April 1997 p.2157-2159 |
|---|---|
| タイトル | "Optical and durability properties of infrared transmitting thin films" |
| 著者 | Jennifer D. Traylor Kruschwitz, Walter T. Pawlewicz |
| 概要 | 赤外域での透過領域を持つ１４の酸化物とフッ化物（Bi2O3, Cr2O3, HfO2, Ta2O5, Y2O3, ZrO2, CaF2, CeF3, HfF4, LaF3, NdF3, PbF2, SrF2, YbF3）について、赤外域での屈折率、消衰係数、基板との密着性、耐摩耗性(MIL規格)の観点から最適な材料を検証した研究論文 |
| 掲載誌 | APPLIED OPTICS Vol. 18, No. 1 / 1 January 1979 p.111-115 |
|---|---|
| タイトル | "Refractive index of some oxide and fluoride coating materials" |
| 著者 | David Smith and Philip Baumeister |
| 概要 | 250-2000nmにおけるTa2O5, HfO2, Y2O3, La2O3, ZrO2, CeO2, CeF3, LaF3, NdF3, MgF2の屈折率についての研究論文 |
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