ZnO(酸化亜鉛)の特性

2011年5月8日更新

ZnOはITOと同様に透明導電膜にするための研究が進んでおり、一部実用化されています。通常はZnOに何かを添加することで透過率や導電率を高めることができます。

膜特性(ZnO 酸化亜鉛)
屈折率 2.1(550 nm近辺)
使用波長域 0.4μm 〜20
蒸発方法 EB(電子ビーム)、RH(抵抗加熱)
蒸発源材料 -
蒸発タイプ -
膜質 結晶質、軟らかい
応力
主な用途 半導体センサ、透明導電膜
ZnOの材料特性(一般的なバルクの物性値)
理論密度 5.47g/cm3
融点 1975℃
沸点 1100℃昇華 ※1
性質 水溶性:難溶
耐薬品性(酸、アルカリ):可溶
結晶構造 六方晶系、ZnO型 ※2
抵抗率ρ/10^-8Ωm -
誘電率、比誘電率εγ -
熱膨張係数 -
熱伝導率(cal/cm/sec/℃) -
比熱(cal/℃/mole) -
外観 淡黄色
CAS-NO 1314-23-4
輸送情報 輸出貿易管理令(リスト規制非該当)

参照文献

  • ※1:[日本化学会編,“化学便覧 基礎編 改訂5版”,丸善(2005),p.T-360]
  • ※2:[日本化学会編,“化学便覧 基礎編 改訂5版”,丸善(2005),p.U-839]

専門誌等で発表されているZnOの薄膜に関する研究論文

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