in situとは

2012年4月11日更新

in situ(イン・サイチュ)とは薄膜の世界、特に研究開発系の領域ではわりとよく使われる概念・用語で、in situ測定などの使われ方をします。意味としては、前述の場合は「その場測定」のような意味合いで、薄膜の場合は特に周囲の環境や条件によって特性が変化するため、この考え方が重要となってきます。in situ計測でないと、比較検討や正確な値が出ないため、実験や検証では多用される概念です。また薄膜分析を行ったデータを見る際は、それがin situ計測によるものなのか、そうではないのかによって値の持つ意味が変わることもあるので、押さえて置く必要があります。用語そのものはラテン語です。

薄膜の特性【参考】

主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。

酸化物の薄膜

フッ化物の薄膜

窒化膜

炭化膜

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