Nb2O5(五酸化ニオブ)の特性

2011年5月8日更新

Nb2O5(五酸化ニオブ)は近紫外よりの可視光から赤外までを透過波長に持ち、応力の弱い物質であることが知られています。代表的な高屈折率材料であるチタニア(TiO2)では吸収が発生してしまう400nmにかかる光学設計の際に用いられることが多く、可視光域では、TiO2のほか、Ta2O5等の高屈折率材料との比較検討対象となります。

可視光域での他の高屈折率材料と比べ、Nb2O5はTiO2に次ぐ高屈折率であり、価格帯も大きくは変わらないことから、光学特性のシフトが問題となる光学部品に使われる材料です。イオンアシスト成膜ではTa2O5に比べて安定性は劣るものの、TiO2よりも膜の吸収、散乱、分光特性のシフトなどで優位性を示すことから、適用が検討される材料の一つです。

イオンアシスト蒸着だけでなく、スパッタリングによる成膜でもよく使われる材料で、反応性のスパッタを用いる場合は、Nb2O5膜の成膜にNb金属で作られたスパッタリングターゲットを使用します。

膜特性(Nb2O5 五酸化ニオブ)
屈折率 2.33
使用波長域 0.32-8μ ※3
蒸発方法 EB(電子ビーム)
蒸発源材料 タングステン
蒸発タイプ -
膜質 非晶質、結晶質(成膜手法、成膜条件により異なる)
応力 弱い引っ張り(IAD:イオンアシスト蒸着により逆転する)
主な用途 多層膜
Nb2O5の材料特性(一般的なバルクの物性値)
理論密度 4.47g/cm3
融点 1520℃
沸点 -
性質 水溶性:不溶
耐薬品性(酸、アルカリ)、フッ化水素酸、アルカリ:可溶 ※1
結晶構造 Nb2O5(H)単斜:高温相の構造、多数の多形が存在する ※2
抵抗率ρ/10^-8Ωm -
誘電率、比誘電率εγ -
熱膨張係数 -
熱伝導率(cal/cm/sec/℃) -
比熱(cal/℃/mole) -
外観 白色もしくは灰色
CAS-NO 1313-96-8
輸送情報 輸出貿易管理令(リスト規制非該当)

参照文献

  • ※1:[日本化学会編,“化学便覧 基礎編 改訂5版”,丸善(2005),p.T-269]
  • ※2:[日本化学会編,“化学便覧 基礎編 改訂5版”,丸善(2005),p.U-838]
  • ※3:光学薄膜と成膜技術 李正中 署 株式会社アルバック訳 アグネ技術センター2005年8月30日初版第三刷

専門誌等で発表されているNb2O5の薄膜に関する研究論文

掲載誌 Thin Solid Films, 175 (1989) 207-212
タイトル "PROPERTIES OF ION-PLATED Nb2O5 FILMS"
著者 J. EDLINGER, J. RAMM AND H. K. PULKER
概要 イオンプレーティング法によるNb2O5の単層膜について、応力、光学特性、膜成分、表面形態を調査した研究論文

スポンサーリンク

>「Nb2O5(五酸化ニオブ、Niobium(X)Oxide)の特性」についての先頭へ

Nb2O5(五酸化ニオブ、Niobium(X)Oxide)の関連記事

Nb2O5(五酸化ニオブ)のメーカー一覧
受託成膜や成膜サービスを行っている企業の一覧
蒸着材料のメーカー一覧
スパッタリングターゲットのメーカー一覧
CVD材料のメーカー一覧
溶射材料のメーカー一覧

薄膜の材料特性

酸化物の薄膜

フッ化物の薄膜

窒化膜

炭化膜

砥石からはじまり、工業技術や工具、材料等の情報を掲載しています。製造、生産技術、設備技術、金型技術、試作、実験、製品開発、設計、環境管理、安全、品質管理、営業、貿易、購買調達、資材、生産管理、物流、経理など製造業に関わりのあるさまざまな仕事や調べものの一助になれば幸いです。

このサイトについて

研削・研磨に関わる情報から、被削材となる鉄鋼やセラミックス、樹脂に至るまで主として製造業における各分野の職種で必要とされる情報を集め、提供しています。「専門的でわかりにくい」といわれる砥石や工業の世界。わかりやすく役に立つ情報掲載を心がけています。砥石選びや研削研磨でお困りのときに役立てていただければ幸いですが、工業系の分野で「こんな情報がほしい」などのリクエストがありましたら検討致しますのでご連絡ください。toishi.info@管理人

ダイヤモンド砥石のリンク集

研磨や研削だけなく、製造業やものづくりに広く関わりのあるリンクを集めています。工業分野で必要とされる加工技術や材料に関する知識、事業運営に必要な知識には驚くほど共通項があります。研削・切削液、研削盤、砥石メーカー各社のサイトから工業分野や消費財ごとのメーカーをリンクしてまとめています。

研磨、研削、砥石リンク集