ZrO2（酸化ジルコニウム） の特性
薄膜材料としてのZrO2（酸化ジルコニウム）は約340nmから8μmを透過波長域に持つ高屈折率材料の一つです。汎用性が高く、３層ＡＲコートにおける波長領域を広げるための平坦層としてよく使われます。またZrO2をベースにした混合材料も広く知られています。
ZrO2が本来持つ不均質（膜厚による屈折率傾斜）の性質を緩和するためTiO2との混合物、耐熱性に優れた薄膜としてY2O3と混合したYSZ [ZrO2とY2O3の混合物]など、他材料との混合物もよく行われます。
| 屈折率 | 2.00～2.05（550 nm近辺） |
|---|---|
| 使用波長域 | 0.34 ～ 12μｍ |
| 蒸発方法 | EB（電子ビーム） |
| 蒸発源材料 | タングステン |
| 蒸発タイプ | 昇華 |
| 膜質 | - |
| 応力 | 引っ張り |
| 主な用途 | 光学膜、反射防止膜、多層膜 |
| 理論密度 | 5.56g/cm3 |
|---|---|
| 融点 | 2677℃ |
| 沸点 | 4548℃ |
| 性質 | 水溶性：不溶 耐薬品性(酸、アルカリ)：硫酸、弗化水素酸に可溶 |
| 結晶構造 | 単斜（<1000℃）、立方（>1000℃）※１ |
| 抵抗率ρ/10^-8Ωm | 1 x 10^12 温度(θ/℃)385 ※３ |
| 誘電率、比誘電率εγ | 12.5 温度/℃:室温 周波数/Hz:2x10^6 ※２ |
| 熱膨張係数 | 4.2 x 10^-6 ※４ |
| 熱伝導率（cal/cm/sec/℃） | 0.307 x 10^-2 ※４ |
| 比熱(cal/℃/mole) | 15.26 127T(℃) ※４ |
| 外観 | 白色 |
| CAS-NO | 1314-23-4 |
| 輸送情報 | 輸出貿易管理令（リスト規制非該当） |
参照文献
- ※１：［日本化学会編，“化学便覧 基礎編 改訂5版”，丸善（2005），p.Ⅰ-363］
- ※２：［日本化学会編，“化学便覧 基礎編 改訂5版”，丸善（2005），p.Ⅱ-624］
- ※３：前掲 p.Ⅱ-612
- ※４：生産現場における光学薄膜の設計・作製・評価技術 監修/小倉繁太郎 技術情報協会 2001年1月22日 第7章第11節『紫外線波長用フィルター』p266-267 小倉繁太郎
専門誌等で発表されているZrO2の薄膜に関する研究論文
| 掲載誌 | |
|---|---|
| タイトル | |
| 著者 | |
| 概要 |
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