Ga2O3(酸化ガリウム)の特性

2011年5月8日更新

Ga2O3は波長550nm付近で1.45の屈折率を持つ材料で、バンドギャップは5eV以下とされます。化学的・熱的に安定した物質で、薄膜としては深紫外域で用いられる酸化物やGaAsへの反射防止膜、高温酸素センサー、発光体などに使われます。

膜特性(Ga2O3 酸化ガリウム)
屈折率 1.45(550nm近辺) ※2
使用波長域 0.3μm〜
蒸発方法 EB(電子ビーム)、RH(抵抗加熱)
蒸発源材料 タングステン
蒸発タイプ -
膜質 -
応力 -
主な用途 -
Ga2O3の材料特性(一般的なバルクの物性値)
理論密度 5.95g/cm3
融点 1900℃
沸点 -
性質 水溶性:不溶
耐薬品性(酸、アルカリ):不溶
結晶構造 Ga2O3(α)三方晶系、600℃(転移→単斜晶系β) ※1
抵抗率ρ/10^-8Ωm -
誘電率、比誘電率εγ -
熱膨張係数 -
熱伝導率(cal/cm/sec/℃) -
比熱(cal/℃/mole) -
備考 5形態あるが、安定して存在できるのはβ-Ga2O3のみ。※2
外観 -
CAS-NO 12024-21-4
輸送情報 輸出貿易管理令(リスト規制非該当)

参照文献

  • ※1:[日本化学会編,“化学便覧 基礎編 改訂5版”,丸善(2005),p.T-222]
  • ※2:Reprinted from "Handbook of optical constants of solids"edited by Edward D.Palik Academic press page.753-760 1985 with permission from Elsevier

専門誌等で発表されているGa2O3の薄膜に関する研究論文

掲載誌 Jpn.J.Appl.Phys.13, 737 and 1578 1974
タイトル -
著者 T.Matsumoto
概要 -

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