CeF3(フッ化セリウム)の特性

2011年5月8日更新
膜特性(CeF3 フッ化セリウム)
屈折率 1.63(550 nm近辺)
使用波長域 0.3 〜 5μm
蒸発方法 抵抗加熱
蒸発源材料 タングステン、モリブデン、タンタル
蒸発タイプ 昇華
膜質 結晶質、硬い
応力 強い引っ張り
主な用途 多層膜、反射防止膜
CeF3の材料特性(一般的なバルクの物性値)
理論密度 5.8g/cm3
融点 1324℃
沸点 1360℃
性質 水溶性:不溶
耐薬品性(酸、アルカリ):酸に難溶
結晶構造 三方晶系 LaF3型 六方晶とする報告もある ※1
抵抗率ρ/10^-8Ωm -
誘電率、比誘電率εγ -
熱膨張係数 -
熱伝導率(cal/cm/sec/℃) -
比熱(cal/℃/mole) 22.65  T(℃)127°※2
外観 白色
CAS-NO 7758-88-5
輸送情報 輸出貿易管理令(リスト規制非該当)

参照文献

  • ※1:[日本化学会編,“化学便覧 基礎編 改訂5版”,丸善(2005),p.U-836]
  • ※2:生産現場における光学薄膜の設計・作製・評価技術 監修/小倉繁太郎 技術情報協会 2001年1月22日 第7章第11節『紫外線波長用フィルター』p266-267 小倉繁太郎

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