WO3(酸化タングステン)の特性

2011年5月8日更新

WO3(酸化タングステン)は可視域に透過波長領域を持つ高屈折率材料の一つです。他の高屈折率材料に比べ、低温での蒸着が可能なため、電子ビームから基板への輻射熱の影響が少なく、熱に比較的弱い基板に対しても良好な膜が得られることが知られています。

WO3(酸化タングステン)は、光学薄膜用途のほか、エレクトロクロミック用途の機能膜としても使われます。スマートウィンドウ用途としてI.T.O等透明導電膜とWO3を組み合わせた膜構成が知られています。

なお、酸化タングステンは結合する酸素の量により色が大きく変わります。三酸化タングステンは蛍光色に近い黄色です。

膜特性(WO3 酸化タングステン)
屈折率 2.2(550nm近辺) ※3
使用波長域 0.4μm- ※3
蒸発方法 EB(電子ビーム)、RH(抵抗加熱)
蒸発源材料 W,Pt,Mo
蒸発タイプ -
膜質 -
応力 -
主な用途 電気変色膜、EC素子、エレクトロクロミック用途
WO3の材料特性(一般的なバルクの物性値)
理論密度 7.15g/cm3
融点 1473℃
沸点 1840℃
性質 水溶性:不溶
耐薬品性(酸、アルカリ):アルカリ水溶液に可溶
結晶構造 単斜 ゆがんだReO3型 ※2
斜方晶系 ※1
抵抗率ρ/10^-8Ωm -
誘電率、比誘電率εγ -
熱膨張係数 -
熱伝導率(cal/cm/sec/℃) -
比熱(cal/℃/mole) -
外観 黄色
CAS-NO 1314-35-8
輸送情報 輸出貿易管理令(リスト規制非該当)

参照文献

  • ※1:[日本化学会編,“化学便覧 基礎編 改訂5版”,丸善(2005),p.T-357]
  • ※2:[日本化学会編,“化学便覧 基礎編 改訂5版”,丸善(2005),p.U-838]
  • ※3:光学薄膜と成膜技術 李正中 署 株式会社アルバック訳 アグネ技術センター2005年8月30日初版第三刷

専門誌等で発表されているWO3の薄膜に関する研究論文

掲載誌 Thin Solid Films, 235 (1993) 228-233
タイトル "Compaction of tungsten oxide films by ion-beam irradiation"
著者 W. Wagner, F. Rauch, R. Feile, C. Ottermann, K. Bange
概要 反応性蒸着によるアモルファスなWO3膜に対して、異なる種類のイオン照射をそれぞれエネルギー(30MeVまで)、フルエンス(10^18cm^-2まで)を変えて行い、膜の緻密度向上の影響を調べた研究
掲載誌 Thin Solid Films 377-378(2000)8-13
タイトル "Optical properties of Li doped electrochromic WO3 thin films"
著者 I.Porqueras, E.Bertran
概要 シリコンウエハー基板上に反応性蒸着で成膜したWO3膜がLiイオンをドープ(ガス導入時)することで、光学的特性にどのような変化を及ぼすのか調査した研究論文

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