Ti3O5(五酸化チタン)の特性

2011年5月8日更新

Ti3O5はTiO2薄膜の成膜のための出発材料の候補です。他のチタン系の材料に比べて、比較的速くTiO2膜をつくることができると言われています。

膜特性(Ti3O5:出発材料 TiO2膜)
屈折率
使用波長域
蒸発方法 EB(電子ビーム)
蒸発源材料
蒸発タイプ
膜質
応力
主な用途
Ti3O5の材料特性(一般的なバルクの物性値)
理論密度
融点
沸点
性質 水溶性:不溶
耐薬品性(酸、アルカリ):希硫酸・希塩酸に可溶
結晶構造
抵抗率ρ/10^-8Ωm 6x10^-3(半導体相) 温度 500(T/K), 10x10^-2(半導体相) 温度 400(T/K);転移温度 T(trs) /K 450 ※1
誘電率、比誘電率εγ
熱膨張係数
熱伝導率(cal/cm/sec/℃)
比熱(cal/℃/mole)
外観 赤茶色、黒灰色
CAS-NO 12065-65-5
輸送情報 輸出貿易管理令(リスト規制非該当)

参照文献

  • ※1:[日本化学会編,“化学便覧 基礎編 改訂5版”,丸善(2005),p.U-613]

専門誌等で発表されているTi3O5の薄膜に関する研究論文

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