ZrO2+TiO2(複合材料)の特性

2011年5月8日更新
ZrO2の代表的な反射防止膜に使われる材料ですが、単体では不均質の問題があり、これを解消するためにTiO2などの他の物質と混合したものがこの蒸着材料です。
膜特性(ZrO2+TiO2(複合材料))
屈折率
使用波長域
蒸発方法 EB(電子ビーム)
蒸発源材料
蒸発タイプ
膜質
応力
主な用途
ZrO2+TiO2(複合材料)の材料特性(一般的なバルクの物性値)
理論密度
融点
沸点
性質 水溶性:不溶
耐薬品性(酸、アルカリ):難溶
結晶構造
抵抗率ρ/10^-8Ωm
誘電率、比誘電率εγ
熱膨張係数
熱伝導率(cal/cm/sec/℃)
比熱(cal/℃/mole)
外観
CAS-NO
輸送情報 輸出貿易管理令(リスト規制非該当)

参照文献

専門誌等で発表されているZrO2+TiO2(複合材料)の薄膜に関する研究論文

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