NdF3(フッ化ネオジウム)の特性

2011年5月8日更新
膜特性(NdF3 フッ化ネオジウム)
屈折率 1.61(550 nm近辺)
使用波長域 0.22〜2μm
蒸発方法 EB(電子ビーム)、抵抗加熱
蒸発源材料 タングステン、モリブデン、タンタル、アルミナ
蒸発タイプ 昇華
膜質 結晶質、やや硬い
応力 -
主な用途 紫外域反射膜、紫外用レーザーミラー
NdF3の材料特性(一般的なバルクの物性値)
理論密度 6.5g/cm3
融点 1374℃
沸点 2327℃ ※1
性質 水溶性:不溶
可溶:H2SO4 ※1
結晶構造 三方 LaF3型 六方晶とする報告もある ※2
抵抗率ρ/10^-8Ωm -
誘電率、比誘電率εγ -
熱膨張係数 -
熱伝導率(cal/cm/sec/℃) -
比熱(cal/℃/mole) -
外観 淡桃色(自然光下)
CAS-NO 13709-42-7
輸送情報 輸出貿易管理令(リスト規制非該当)

参照文献

  • ※1:[日本化学会編,“化学便覧 基礎編 改訂5版”,丸善(2005),p.T-269]
  • ※2:[日本化学会編,“化学便覧 基礎編 改訂5版”,丸善(2005),p.U-836]

専門誌等で発表されているNdF3の薄膜に関する研究論文

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