蒸着材料の焼結品と溶融破砕品とは

2012年4月7日更新

焼結タイプのものは、材料を焼き固めたセラミックスで、いわゆる「焼き物」に近いものです。一方、結晶タイプのものは、溶融し、インゴットにした多結晶体を粉砕して使いやすい粒状にしたものです。材料によって焼結、結晶それぞれ一長一短あります。一般に、焼結体は溶けやすく、結晶体は充填率が高いです。純度は結晶体のほうが出しやすい傾向があり、4N以上になると結晶型のものが多くなりますが、焼結品でも出発原料の純度が高ければこのレベルに到達させることも可能です。

焼結と結晶(溶融破砕)の違いは成膜時にも出てきますので、現在の成膜条件に適合するほうを選ぶのが肝要です。材料の種類によっては、どちらかしか存在しないものもあります。

双方のタイプが市場に出ている材料であっても、焼結品か溶融破砕品のどちらがよいのかは意見の分かれるところです。

薄膜の特性【参考】

主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。

酸化物の薄膜

フッ化物の薄膜

窒化膜

炭化膜

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