ステッパーメーカーの一覧

ステッパーとは半導体装置のうち、投影型露光装置のことを言います。

世界の主要市場は、ＡＳＭＬ、ニコン、キヤノンの三社で市場を分け合う構図となっています。光学系の高度な技術が必要なため、同じ半導体製造装置とはいっても、この投影型露光装置を製造可能なメーカーは限られてきます。極平たく言えば、半導体の回路のパターンを露光する、つまり回路そのものをつけるための装置となります。より多くの情報を書き込むためには、最小線幅は細いほど多くの線を露光することができますが、これには通常の紫外線のさらに短波長の光、例えば215nmなどを利用するため、露光装置のレンズはこうした真紫外域の透過率を上げてやる必要があります。レンズの材料もさることながら、そこに使われる薄膜が大きな役割を果たしています。最小線幅のほか、単位時間当たりにどれくらい製造可能かといった指標が重要となりいます。装置そのものは高額で、１０億円から、最新の液浸ステッパーであれば５０億円を超える機種もあります。半導体製造関連の展示会などで、ステッパーの展示を見られる機会があれば覗いてみるとよいかと思いますが、非常に高額な装置で場所もとることから、展示説明のために多くの人が割かれていることが見て取れます。

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