クリーンルームのクラス100の基準

2012年5月2日更新

クリーンルームのクラス1000とは、米国連邦規格であるFed-std209E(Federal standard 209E)に規定されている1ft3内にどれくらいの粒子(サイズと個数)が存在していてもよいかを示す指標のひとつです。

具体的には、1ft3内に0.5μm径の粒子が1000個まで存在してもよい濃度を示しています。クリーンルームの規格は一定の空間(容積)の中にどれくらいのサイズの微粒子が何個まで存在してよいかという上限濃度で清浄度をランク付けしています。

微粒子(パーティクル)の数が少なければ少ないほど、より高いレベルのクリーンルームということが言えます。

クラス1000は薄膜の製造などではよく採用されるクリーンルーム基準です。SI単位ではM4.5、JIS規格の清浄度では、クラス6に相当する基準です。0.3μm以下、つまり300nm以下の微粒子については規定がありませんので、さらにクリーンネスが求められる環境の場合、上のクラスのクリーンルーム環境を検討する必要があります。なお、JIS規格のクラス6では、このクラスの米国連邦規格にはなかった0.1μm径の粒子の上限濃度についても規定があります。

【単位換算参考】1 m3 = 35.31 ft3

クリーンルームのクラス1000基準(米国連邦規格FED.STD209E)
クラス名称 各クラスの微粒子の存在許容限界
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
体積単位 体積単位 体積単位 体積単位 体積単位
SI単位 クラス名称 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3
M4.5 クラス1000 - - - - - - 35300 1000 247 7.00

なお、現在国内で運用されているJIS規格によるクリーンルームのクラスの基準だと、クラス5に相当します。

クリーンルームのクラス基準(JIS B 9920規定の清浄度クラス)
清浄度クラス 微粒子の上限濃度(個/m3
測定粒子径
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
クラス6 1000000 237000 102000 35200 8320 293

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