クリーンルームのクラス10の基準

2012年5月2日更新

クリーンルームのクラス10とは、米国連邦規格であるFed-std209E(Federal standard 209E)に規定のある清浄度を表すレベルのひとつです。

クリーンルームの規格は一定の空間(容積)の中にどれくらいのサイズの微粒子が何個あるかどうかという基準が示されていますが、このクラス10では下表の通り、1ft3の中に0.5μm径の粒子が10個存在するという非常に厳しいレベルの清浄度を示すクラスです。SI単位ではM2.5に相当します。

【単位換算参考】1 m3 = 35.31 ft3

クリーンルームのクラス10基準(米国連邦規格FED.STD209E)
クラス名称 各クラスの微粒子の存在許容限界
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
体積単位 体積単位 体積単位 体積単位 体積単位
SI単位 クラス名称 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3
M2.5 クラス10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0 - -

なお、この米国連邦規格によるクラス10は、JIS規格によるクリーンルームのクラスの基準だと、クラス4に相当します。

クリーンルームのクラス基準(JIS B 9920規定の清浄度クラス)
清浄度クラス 微粒子の上限濃度(個/m3
測定粒子径
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
クラス4 10000 2370 1020 352 83 -

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