クリーンルームのクラス1の基準

2012年5月2日更新

クリーンルームのクラス1とは、米国連邦規格であるFed-std209E(Federal standard 209E)に規定されている基準のひとつです。

クリーンルームの規格は一定の空間(容積)の中にどれくらいのサイズの微粒子が何個まで共用されるかという上限濃度を基準にした清浄度の「クラス」が決められています。

クラス1は、1ft3の中に0.5μm径の粒子が1個存在しているという意味になります。一般的なクリーンルーム、特に成膜工程ではここまでの清浄度を要求されるクリーンルームというのは聞きませんが、産業分野によっては必須となることもあります。

【単位換算参考】1 m3 = 35.31 ft3

クリーンルームのクラス1基準(米国連邦規格FED.STD209E)
クラス名称 各クラスの微粒子の存在許容限界
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
体積単位 体積単位 体積単位 体積単位 体積単位
SI単位 クラス名称 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3
M1.5 クラス1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - -

なお、現在国内で運用されているJIS規格によるクリーンルームのクラスの基準だと、クラス3に相当します。医療やバイオ、超精密分野などでより清浄度の高いクリーンルーム環境が求められるようになり、JISで定められた規格は、従前から用いられていた米国連邦規格より若干細かくなっています。より細かい粒子についても上限濃度が規定されるようになりました。

クリーンルームのクラス基準(JIS B 9920規定の清浄度クラス)
清浄度クラス 微粒子の上限濃度(個/m3
測定粒子径
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
クラス3 1000 237 102 35 8 -

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