クリーンルームのクラス100の基準

2012年5月2日更新

クリーンルームのクラス100とは、米国連邦規格であるFed-std209E(Federal standard 209E)から来ている基準のことを指しています。

クリーンルームの規格は一定の空間(容積)の中にどれくらいのサイズの微粒子が何個あるかどうかという基準で清浄度の「クラス」を定めています。

微粒子(パーティクル)の数が少なければ少ないほど、より高いレベルのクリーンルームということが言えます。

クラス100の100という数字は、1ft3の中に0.5μm径の粒子が100個存在していることからとられたものです。

【単位換算参考】1 m3 = 35.31 ft3

クリーンルームのクラス100基準(米国連邦規格FED.STD209E)
クラス名称 各クラスの微粒子の存在許容限界
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
体積単位 体積単位 体積単位 体積単位 体積単位
SI単位 クラス名称 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3
M3.5 クラス100 - - 26500 750 10600 300 3530 100 - -

なお、現在国内で運用されているJIS規格によるクリーンルームのクラスの基準だと、クラス5に相当します。

クリーンルームのクラス基準(JIS B 9920規定の清浄度クラス)
清浄度クラス 微粒子の上限濃度(個/m3
測定粒子径
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
クラス5 100000 23700 10200 3520 832 29

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