クリーンルームのクラス10000の基準

2012年5月2日更新

クリーンルームのクラス10000とは、米国連邦規格であるFed-std209E(Federal standard 209E)に規定されている、0.5μm径の微粒子が1ft3内に10000個まで許される清浄度のレベルを示しています。

クリーンルームの規格は一定の空間(容積)の中にどれくらいのサイズの微粒子が何個まで許容されるかという粒子の上限濃度によって「クラス」を定めています。

成膜で用いる場合は、要求精度の厳しいものでこの環境下に基板が曝されることを考慮すると、もう1ランク高いクラスのクリーンルーム環境のほうがよいかもしれません。いずれにせよ、通常の室内から比べるとはるかに高いレベルの清浄度となります。

【単位換算参考】1 m3 = 35.31 ft3

クリーンルームのクラス10000基準(米国連邦規格FED.STD209E)
クラス名称 各クラスの微粒子の存在許容限界
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
体積単位 体積単位 体積単位 体積単位 体積単位
SI単位 クラス名称 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3 (m3 (ft3
M5.5 クラス10000 - - - - - - 35.3万 10000 2470 70.0

なお、このクラス10000はJIS規格によるクリーンルームのクラスの基準だと、クラス7に相当します。

クリーンルームのクラス基準(JIS B 9920規定の清浄度クラス)
清浄度クラス 微粒子の上限濃度(個/m3
測定粒子径
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
クラス7 - - - 352000 83200 2930

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