スリット

2010年6月26日更新

切断用のブレードなどの基板につけられた溝のことで、チップとチップの間を意味する場合と、基板の中心に近い位置につけられた浅い溝を示す場合とがあります。

前者のチップ間にある溝の例として、切断砥石で砥層が連続(コンティニュアス)タイプではない、いわゆるセグメントチップを採用している場合は、このスリットの数や間隔が切断性能に大きく影響します。またチップの1個置きに違う使用にしたり、複数の異なる仕様を持つチップを基板に取り付けることで、切れ味やライフを向上させる改良が行なわれています。なお、チップの破損は通常角から発生するため、こうした現象が起きる場合はスリットの数を見直すのも一つの方法です。またこの溝の形状によっては切断加工時に発生する騒音を軽減させる効果があります。

後者の例では、大型切断刃、俗に言うサーキュラーソーブレードやソーブレードなどの大型基板の中心穴付近に細い溝が放射状につけられていることがあります。これは切断の際に発生する熱によって起きる「熱膨張」が原因で基板に歪みが生じることがあり、これを吸収するために設けられたスリットです。たいていの場合、レーザービームによってつけられます。

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