真空計メーカーの一覧
真空の度合いを計測することは、すなわちその空間に残存する気体の「量」により、その圧力を測定することですが、この方式には二種類のものがあります。気体の種類に依存する計測方式と、どのような気体に対しても使える力学的な方式の二つです。 気体の種類ごとに圧力を測定する真空計は、分圧真空計と呼ばれ、反対にすべての気体の種類に関わらず全体の圧力を測定するものは全圧真空計と呼びます。
また、真空計は一台で大気圧から超極真空まですべて計測できるというタイプのものは存在しません。それぞれの真空計には、測定可能な圧力の範囲が決まっていますので、適宜組み合わせ、最適なものを選んでいく必要があります。
真空計は、測定器などの専門メーカーのほか、真空ポンプなどの真空装置を扱うメーカーが取り扱っていることが多い製品です。いずれにせよ、真空に関する高度な技能・ノウハウ・経験が求められる分野です。
- 佐藤真空
- ８０年にわたる歴史を持つ真空機器メーカー。真空ポンプ、真空装置も扱い、真空計としては、ピラニ、電離、コールドカソード、パルミルなど、大気圧から超高真空領域(10^-7Pa)までをカバーする豊富な機種を取り揃えている。
- 岡野製作所
- 真空計測機器、圧力計測機器、流速計・流量計測機器、環境測定機器など測定器メーカー。真空計としては、マクラウド真空計、液柱型真空計、ピラニ真空計、絶対圧計などを取り扱う。
- 大亜真空
- 1931年創業の真空機器メーカー。真空装置各種取扱。真空計としては、ピラニ真空計、複合型真空計、高精度隔膜真空計、コールドカソード真空計、電離真空計、コンビネーション真空計などのラインナップが紹介されている。
- インフィコン
- 世界中のマーケットに真空およびガス計測分析器を提供するリーディングカンパニーの一つ。製造拠点をドイツ、米国に持つ。真空計の基幹部であるセンサには、熱陰極（B-Aまたはトライオード）、冷陰極（逆マグネトロンまたはペニング）、ピラニ、およびキャパシタンスダイアフラムによる計測技術を採用。薄膜の厚さを測る上で不可欠な膜厚コントローラも取り扱う。
- グリーンテック
- 中古真空機器・装置の売買を手がける会社。蒸着装置から真空ポンプ、真空機器、真空装置など広範に取り扱う。
- 日本エリコンライボルト
- 真空技術のパイオニア、エリコンライボルトバキュームの日本法人。真空ポンプ・真空計・リークディテクタのメーカー。
- アンペール
- ペルチェ、真空計、LSI制御等の開発製品を提供するメーカー。メンテナンスの手間とコストを削減. 感度が変化しない真空計「タフゲージ」を製造開発。真空計は計測するガスによって常に汚染されるため、フィラメントの短寿命、感度低下、エミッション停止や真空度の誤判定などの問題が付きまとうがこれらの解決のため開発された製品。
- エドワーズ
- 1919年の設立。真空排気および計測、排ガス除害処理、温度管理装置における世界最大のサプライヤーの一つ。真空計としては、TICコントローラ、AGD/ADDコントローラ、ピラニ真空計、マグネトロン真空計、サーモカップル真空計、ストレイン（ひずみ）真空計などを取り扱う。真空ポンプとしては、ドライポンプ、ロータリーポンプ。スクロールポンプ、拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプ、ターボ分子ポンプ等をラインナップにもつ。
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- 真空計の種類
