ルーツポンプ

2012年5月1日更新

真空排気のうち、あらびき工程に用いる真空ポンプの一種です。ただこのポンプは、大気圧レベルの状態からは使うことが出来ないため、あらかじめ1000Pa程度まで大気圧を下げる必要があります。このため、大気圧から使用できる代表的なあらびきポンプである油回転ポンプと組み合わせて使われることが多いです。両者を組み合わせ、ルーツポンプをブースタポンプとして使うことであらびき真空排気における時間を短縮することも可能です。高真空を作り出すことはできません。

作動圧力の範囲としては、103から10-1Pa程度となります。

スポンサーリンク

>「ルーツポンプ」の先頭へ

「成膜や薄膜、蒸着、スパッタのFAQ」の目次へ戻る

ルーツポンプの関連記事

あらびきポンプとは
油回転ポンプ
ドライポンプ
高真空ポンプ
拡散ポンプ
クライオポンプ
ターボ分子ポンプ
スパッタイオンポンプ
真空計の種類
真空計|メーカーの一覧
透明導電膜とは
真空蒸着の原理
スパッタとは
受託成膜や成膜サービスを行っている企業の一覧
「めっき」を行っている企業の一覧
「溶射」を行っている企業の一覧
蒸着材料のメーカー一覧
スパッタリングターゲットのメーカー一覧
CVD材料のメーカー一覧

砥石からはじまり、工業技術や工具、材料等の情報を掲載しています。製造、生産技術、設備技術、金型技術、試作、実験、製品開発、設計、環境管理、安全、品質管理、営業、貿易、購買調達、資材、生産管理、物流、経理など製造業に関わりのあるさまざまな仕事や調べものの一助になれば幸いです。

このサイトについて

研削・研磨に関わる情報から、被削材となる鉄鋼やセラミックス、樹脂に至るまで主として製造業における各分野の職種で必要とされる情報を集め、提供しています。「専門的でわかりにくい」といわれる砥石や工業の世界。わかりやすく役に立つ情報掲載を心がけています。砥石選びや研削研磨でお困りのときに役立てていただければ幸いですが、工業系の分野で「こんな情報がほしい」などのリクエストがありましたら検討致しますのでご連絡ください。toishi.info@管理人

ダイヤモンド砥石のリンク集

研磨や研削だけなく、製造業やものづくりに広く関わりのあるリンクを集めています。工業分野で必要とされる加工技術や材料に関する知識、事業運営に必要な知識には驚くほど共通項があります。研削・切削液、研削盤、砥石メーカー各社のサイトから工業分野や消費財ごとのメーカーをリンクしてまとめています。

研磨、研削、砥石リンク集