透明導電膜の用途

2012年4月7日更新

液晶パネル、太陽電池などの透明電極用途が主流となります。最近のタッチパネルにも用いられます。ほとんどの場合、酸化インジウム錫と呼ばれる酸化インジウムと酸化錫の混合材料が膜の製造に使われています。導電性の優れた薄膜は他の材料でも比較的に簡単に作ることが出来ますが、それらはどれも透明ではありません。高い透過率を保ちつつ、導電性を持つという条件だと、使うことができる材料が非常に限られてきます。

薄膜の特性【参考】

主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。

酸化物の薄膜

フッ化物の薄膜

窒化膜

炭化膜

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