光学特性のnやkを調べる
薄膜の特性は、同じ材料であってもバルクとは異なることが大半で、特に光学特性は実際に薄膜にして分析してみないと実用的なデータを得ることは困難です。
実際に成膜をしたり、受託成膜サービスなどを利用してデータを取ることができればそれに越したことはありませんが、候補材料の数が多いとすべての材料を試すのは難しくなります。
また薄膜にする際の成膜手法にも特性は影響を受けるため、一つの材料についても複数の成膜をせねばならないことになり、あまり現実的な話ではなくなってきます。
そこで前段階の準備としては、文献やデータベースを活用した調査が必要となります。
薄膜の特性について考察した論文の多くは、英語で発表されている海外のものが大半ですが、理論的な考察を行ったものだけでなく、「こういう条件で薄膜を成膜したらこういう結果となった、その理由はこうである」といったタイプの研究も多く、初学者でも調査を行うのは容易です。
光学特性を調べるためのデータベース、文献
- セラミックス・セラミックス薄膜の光学特性データベース
- 産業総合研究所内の光学特性データベース。
- Database of Optical Constants
- 一部の金属や酸化物、硫化物、炭化物等の光学定数のレファレンス。
- loffe Physico-Technical Institute n,k database
- ロシアのヨッフェ研究所によるn値,ｋのデータベース。
光学特性についての論文を調べる
- google scholar
- 学術論文の横断的検索ができる。
- Science Direct
- エルゼビア社の運営する電子ジャーナル集。バックナンバーも含め、各種学術誌のタイトル、概要の検索ができる。
- PubMed
- 米国国立医学図書館(U. S. National Library of Medicine)が提供する、医学文献2次情報データベースMEDLINEを中核とする無料医学情報サービス。
- ISSN International Centre
- 海外専門誌の略称について調べられる。
- "Handbook of optical constants of solids"edited by Edward D.Palik Academic press
- 広範な材料について光学定数を網羅した文献。
薄膜の特性【参考】
主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。
酸化物の薄膜
- Al2O3（酸化アルミニウム、アルミナ）
- CeO2（酸化セリウム）
- Cr2O3（酸化クロム）
- Ga2O3（酸化ガリウム）
- HfO2（酸化ハフニウム、ハフニア）
- NiO（酸化ニッケル）
- MgO（酸化マグネシウム、マグネシア）
- I.T.O（Ｉｎ２Ｏ３＋ＳｎＯ２）酸化インジウムスズ
- Nb2O5（五酸化ニオブ）
- Ta2O5（五酸化タンタル）
- Y2O3（酸化イットリウム、イットリア）
- WO3（酸化タングステン）
- TiO（一酸化チタン）
- Ti3O5（五酸化チタン）
- TiO2（二酸化チタン、チタニア）
- ZnO（酸化亜鉛）
- ZrO2+TiO2（複合酸化物）
- ZrO2（酸化ジルコニウム、ジルコニア）
フッ化物の薄膜
- AlF3（フッ化アルミニウム）
- CaF2（フッ化カルシウム）
- CeF3（フッ化セリウム）
- LaF3（フッ化ランタン）
- LiF（フッ化リチウム）
- NaF（フッ化ナトリウム）
- MgF2（フッ化マグネシウム）
- NdF3（フッ化ネオジウム）
- SmF3（フッ化サマリウム）
- YbF3（フッ化イッテルビウム）
- YF3（フッ化イットリウム）
- GdF3（フッ化ガドリニウム）
窒化膜
炭化膜
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