モニターガラスとは

2012年5月1日更新

モニターガラスとは、成膜装置内に取り付けられる薄いガラスパーツで、一般には1センチ角〜数センチ角の正方形の形状をしています。 成膜を行う際に、装置内部にあらかじめセットしておき、この部分にも薄膜が付着するようにしておきます。成膜後、このモニターガラスを取り外し、膜厚の測定や特性の計測などに用います。こうしたモニター用の基板のことを総称してモニターガラスと呼んでいます。材質は青板、白板などが使われますが、気泡や傷、変色、脈理などがないことが求められます。成膜のバッチ(1回の成膜ごとに)ごとに必ず使うため、量産で成膜を行う場合は、消費量もかなりの量になる部品です。単価も安いものが多いため、剥離剤などで膜をはがして再利用することは稀で、ほとんどが使い捨てです。装置によっては、正方形ではなく、特殊な形状をしたモニタガラスを使うケースもあります。

薄膜の特性【参考】

主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。

酸化物の薄膜

フッ化物の薄膜

窒化膜

炭化膜

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