ドライポンプ

2012年5月1日更新

あらびきポンプの一つで、真空を作り出す空間内を液体(油)でシールする油回転ポンプと異なり、高速回転するローター等で気体を外へ運び出し、反対の方向に回転するギアを組み込んだ多段構造をしています。これにより大気を排気しつつ、その逆流を防ぎ、真空を作り出していくわけですが、真空室内に油や液体を使わないことから「ドライ」の名称がついています。ドライポンプのメリットとしては、油回転ポンプ等で時として起きる油の逆流による真空の汚染の心配が少なく、半導体や電子部品で求められるクリーンな真空を作り出すことが出来る点です。ルーツポンプのほか、クロー、スクリュー、ターボなどの構造を持つものが多数存在します。

作動圧力の範囲としては、大気圧である105前後から1Pa程度となります。

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