拡散ポンプ

2012年5月1日更新

代表的な高真空ポンプの一つで、歴史も長いポンプです。油を加熱し、その蒸気を利用して、気体分子を飛ばすことで真空度を上げていきます。構造上は、この油蒸気を発生させる部分(ボイラー)と、この油蒸気の噴流に方向をつけてやるためのジェットノズル、蒸気を凝縮させるための冷却水、コールドキャップなどで構成されています。駆動部がないため、故障が少ない点もメリットの一つですが、作動中に冷却水を途切れないようにすることや作動油を酸化させないよう加熱状態での大気へ開放しないように気をつける必要があります。

作動させることができる圧力範囲は、ある程度の真空度を要求されるため、油回転ポンプをはじめとするあらびきポンプと組み合わせて使います。なお、成膜ではわずかな油でも逆流すると真空の品質が悪化し、その結果膜質にも影響すると言われます。このため、特に半導体分野などでは油を用いないものが選ばれることもあります。

作動圧力の範囲としては、1から10-6Pa程度となります。

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