ステッパーメーカーの一覧

2014年12月8日リンク更新

ステッパーとは半導体装置のうち、投影型露光装置のことを言います。

世界の主要市場は、ASML、ニコン、キヤノンの三社で市場を分け合う構図となっています。光学系の高度な技術が必要なため、同じ半導体製造装置とはいっても、この投影型露光装置を製造可能なメーカーは限られてきます。極平たく言えば、半導体の回路のパターンを露光する、つまり回路そのものをつけるための装置となります。より多くの情報を書き込むためには、最小線幅は細いほど多くの線を露光することができますが、これには通常の紫外線のさらに短波長の光、例えば215nmなどを利用するため、露光装置のレンズはこうした真紫外域の透過率を上げてやる必要があります。レンズの材料もさることながら、そこに使われる薄膜が大きな役割を果たしています。最小線幅のほか、単位時間当たりにどれくらい製造可能かといった指標が重要となりいます。装置そのものは高額で、10億円から、最新の液浸ステッパーであれば50億円を超える機種もあります。半導体製造関連の展示会などで、ステッパーの展示を見られる機会があれば覗いてみるとよいかと思いますが、非常に高額な装置で場所もとることから、展示説明のために多くの人が割かれていることが見て取れます。

ASML
オランダに本社を構える。現在ステッパーでの世界シェアは1位とされ、光学系はカール・ツァイスが供給しているとされる。
ニコン
人類史上最も精密な機械と称される露光装置。最先端技術を駆使したその精度は、 実に1ナノメートル(1メートルの10億分の1)に対応するといわれる。半導体露光装置としてNSRシリーズ、液晶露光装置としてFXシリーズが紹介されている。
キヤノン
半導体デバイスの製造で最重要な工程となるのが、原画となる回路パターンを転写するリソグラフィ工程。この工程の主要部分を占めるのが露光機。半導体デバイス以外の用途にも展開可能な露光機群を取り揃える。

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