ラップ盤、ポリッシング盤メーカーの一覧

2014年12月8日リンク更新

研削盤を用いた加工では、表面粗さに限度があり、非常に優れた面精度を得るためにはさらなる研磨が必要なケースがままあります。こうした場合に重宝されるのがラップ研磨で、業界によっては、最初から最後まで、研磨と言えばラップ盤を使って行う、ということもあります。研磨のメカニズム上、ものを磨くときには砥粒が「刃」として作用するため、その大きさだけでなく、研磨中にそれらがどれくらい切り込んでいるのかという部分も重要となります。ラップは加工に時間がかかる反面、この制御が比較的容易で高精度に行うことができます。

ラップ研磨とは、定盤の上に加工対象を置き、スラリー等の液体に溶いた研磨材を用いて上下の定盤の回転運動におり表面粗さを極限まで高めていく仕上げ研磨の一手法です。機械には、両面ラップ盤と片面ラップ盤の二種類があり、その名が示す通り、「両面」を同時に研磨するか、片面ずつ研磨するかの違いです。両面ラップ機は上定盤、下定盤、工作物を保持するキャリアで成り立っており、さらにいくつかの加工方式に分類できます。片面ラップ盤の場合、定盤にやわらかい素材を使い、流し込んだ砥粒が定盤に刺さった状態で磨きこんでいくハードポリッシュ加工と、研磨材と定盤の間にパッドなどを敷いて砥粒の切り込みをより浅く制御するソフトポリッシュ加工、硬い定盤を用いて遊離砥粒を用いた通常のラップ加工があります。

なお、仕上げ研磨の世界では、ポリッシングはラッピング後の最終仕上げに相当する加工で、専用のポリッシング盤を用いて加工します。

 
ラップマスタージャパン
全自動のCMP装置(300mmシリコンウエハ、サファイア・SiCウエハ)、研削・研磨複合装置、難削材用研削装置、ラップ盤、ポリッシュ盤の製造販売。ラッピングに関しては、片面だけでなく両面ラッピング装置も取り扱う。また研磨機だけでなく、測定装置や、レンズ研磨には欠かせない光学測定原器、超音波洗浄機、ダイヤモンドスラリー、コンパウンドもラインナップに揃える。機械を使うまでもないという場合には、ハンドラッピング・ポリッシングキットもある。液体研磨材とも言える「スラリー」を用いるタイプの精密研磨機。本社は東京。
スピードファム(SPEEDFAM)
ウエーハ向けエッジポリッシャーや片面研磨機、両面研磨機、洗浄装置、レーザー装置を製造販売する。ラップとポリッシュの双方に対応でき、加工物もベアシリコンウェーハのほか、磁気ディスク基板、石英ウェーハ、セラミックス用、金属、サファイアまで幅広い種類のものに対応。ラッピングやポリッシングに用いる研磨剤や研磨パッド、ノッチパッド、ロアチャックパッドも販売する。本社は神奈川。
不二越機械工業
ラッピングマシン、ポリッシングマシン等の精密平面研磨機の製造開発。ラップ盤としては、小型のものから液晶・ガラス基板用の大型両面ラップ盤の場合、直径3000mmまで対応できる。切る、削る、磨く、貼り付け、剥離などに対応可能な各種機械を製造。切断用途では、シリコン、ガラス、結晶の切断に強いマルチワイヤーソーやマルチブレードソー、削る用途としては、両面ラッピング機、片面ラッピング機、外周面取研削装置、貼り付け用にはマウント装置、磨く用途として片面、枚葉式ポリッシング、液晶パネルポリッシング、鏡面面取り機等をラインナップに持つ。中小企業庁が毎年行っている元気なモノ作り中小企業300社にも選ばれている。
光永株式会社(ミツナガ)
精密平面研磨機(ラップ盤)の専業メーカー。極薄のワークの精密研磨用として開発。ラップ盤のオーバーホールも請け負う。
ミロク機械
高知県南国市にあるガンドリルマシン、ラッピングマシンのメーカー。各種ウエハーやガラス製品用、セラミックス、電子関連部品用のラッピングマシン、ポリッシングマシンを製造販売。汎用の両面ラップ機のほか、大型のラップ盤、ポリッシングマシンも扱う。
戸上工業株式会社
ラップ盤の命とも言える精密ラッピング定盤の製造のほか、ラッピングマシン、スライシングマシン(マルチブレード、内周刃)、フェーシング装置、ポリシングマシンの製造販売をする石川県のメーカー。関連会社である戸上機工では両面ラッピングマシンだけで27台保有し、ラッピングの請負加工(受託加工)を行っている。ラッピング定盤の素材は、球状黒鉛鋳鉄(ダクタイル鋳鉄)を基本とし、他にも錫定盤、銅定盤、ステンレス定盤、各種ポリシング定盤、及び修正キャリアの製造も行う。
田沼鉄工所
ラッピングマシン、ポリッシングマシンを手掛けて30年になる千葉県のメーカー。片面ラッピング、両面ラッピングともに製造するが、片面のほうが若干ラインナップは多い。片面ラッピングマシンとしては、自律式、加圧型、高速型、揺動型がある。液晶研磨装置やブラウン管再生研磨機も扱う。LCDパネルプロセスの基礎知識のコーナーでは、液晶研磨、STNガラス基盤、CMP法によるパネルプロセスの平坦化についての解説がある。
浜井産業
ラップ盤、ポリッシ盤、ホブ盤、両頭NCフライス盤等の研磨機を製造販売。ラップ盤については、小型(最大直径43mmから200mmに対応する機種)、中型(最大直径240mmから390mmに対応する機種)、大型(最大直径390mmから810mmm対応機種)、そのほか特注サイズ、片面研磨機を主な取扱品目とする。流体軸受を採用することで、下の定盤を浮上させ、微振動を軽減したり、上の定盤が回転しないタイプのラップ盤もラインナップにある。
ハイテクノス
SiC、GaN、GaASなど半導体化合物で威力を発揮する精密研磨用ラップ盤、ポリッシュ盤の製造開発。研究開発に最適な卓上式のラップ盤から、据え付け型のものまで複数機種揃える。他に、フェーシング専用機やスラリー供給装置も取り扱う。 消耗材として、研磨剤でもあるパウダー・スラリー、ラップ盤には欠かせない定盤、キャリア(樹脂材料、水張り加工用テンプレート)も品目にある。化合物半導体向けの受託加工事業も展開しており、Si、SiC、GaN、GaAS、サファイア、石英、AlTiC(アルチック基板)、ガラスエポキシ樹脂等の加工も請け負う。メーカーだが、中古機の売買もしている。
エンギス(日本エンギスのサイト)
卓上型の小型ラップ装置から、フェーシング機構付きのラップ装置、大型水冷機構付き、両面ラップ装置まで幅広いラインナップを持つ。米国のエンギス本社のサイトはこちら【英語サイト】
ナノテム
ポーラス(多気孔)のダイヤモンド砥石を搭載した高精度の多機能両面ラップ盤を開発。通常はスラリー等の遊離砥粒ベースの研磨材を使うラップ工程だが、この研磨盤は固定砥粒を用いたラッピング研磨装置で、砥石の内部から水やエアーを供給する機構を内蔵している。
アイエムティー株式会社
研究等で用いる試料研磨機など比較的小型のものから液晶パネル用表面研磨機、半導体ウエハ用研磨機などを扱う。他のラインナップとして、卓上の円筒研磨機、シャフト研磨装置、ゴムローラー研磨機などもある。

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