溶射

2010年6月26日更新

主に酸化物や窒化物などのセラミックス質の材料を噴射し、その噴射口付近に高温下の環境を作り出すことで、物体の表面に膜をつける方法です。噴射口付近がプラズマ雰囲気となるプラズマ溶射もあります。研削でこの技術が直接関わってくるのは、部材に溶射膜がついている場合があり、母材とともに溶射膜を削る必要があるケースも散見されるからです。ほとんどの溶射膜は、絶縁性のほか耐熱性や耐候性、耐摩耗性を付与するためのもので、研削しにくいものが多いです。単体ならまだしも、溶射材料のほかには複数の物質の混合材料もあり、母材との共摺りとなれば目詰まりや目つぶれ等、加工は容易に進みません。

こうしたケースでは、難削材用のダイヤモンドホイールや、切り屑の排出に優れるビトリファイドボンドを使うケース、より硬い溶射膜に照準を合わせた砥石仕様で削るケースなどいくつか考えられます。なお、溶射が使われる業界としては高温下にさらされる部品、例えば航空エンジンのタービンの耐熱膜や、原子力用途、保護膜用途としては半導体のエッチングチャンバー内の保護などがあります。LCDなどの製造工程でも一部使われるケースがあります。膜をつける加工、数ある成膜手法のうち、溶射は特に大面積へのミクロンオーダーの薄膜をつけるのに向いた手法とされます。

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共摺り
ビトリファイド(ガラス質、セラミックス)砥石

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